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| 电流密度对电解刻蚀精度及表面质量的影响 |
| 1仲恺农业工程学院机电工程学院 |
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摘要 就不同电流密度对电解刻蚀精度及表面质量的影响进行了研究.结果表明,电流密度过大,表面质量较好,但杂散腐蚀现象严重;电流密度过小,精度较高但表面质量差,会出现不均匀腐蚀如点蚀、缝隙腐蚀等现象.当发生均匀腐蚀时,不同区域面积的表面质量相差不大.因此当电解刻蚀电流密度确定时,在均匀腐蚀的条件下应选择较小的电流密度,同时还要结合图案特征进行小范围参数优化.
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| 关键词 ：
电流密度,
电解刻蚀,
表面粗糙度
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收稿日期: 2015-10-27
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2014, Vol. 27 
